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聚束科技獨立研發并擁有自主知識産權的NavigatorSEM-100高通量(場發射)掃描電子顯微鏡,通過對成像技術、運動平台、電路控制及智能算法的系統化創新設計,實現了高通量成像,成像速度可達到傳統電鏡的數十倍以上。其全部采用直接電子探測器的技術方案,成功克服了傳統SEM技術在速度、精度和樣品損傷等方面的局限性,颠覆性地将掃描電鏡從傳統意義上的納米“照相機”提升為納米“攝像機”。同時操作簡單,全自動一鍵換樣,7*24小時無人值守運行,全面提升科研效率。 我們将成熟的工業化高通量電鏡檢測技術應用在生命科學、材料研究、半導體工業、地質資源等領域。尤其在神經生物學3D重構、材料大面積表面分析、半導體反向工程、納米技術分析等應用領域有顯著優勢。
通過創新的硬件和軟件設計,實現二次電子與背散射電子雙通道同步成像:視頻級高分辨成像2×100M像素/秒,6秒鐘即可拍攝一張6億像素高清圖像(區域:50μm×50μm分辨率:24K×24K )。相較傳統意義掃描電鏡,其掃描速度高出一個數量級以上。
高清視頻級攝像幀率(2×200幀/秒@512×512,或2×60幀/秒@1024×1024),使其具有實時觀測樣品動态變化的能力。
參數類型 | 參數值 |
分辨率 | 1.5nm@1kV 1.3nm@3kV |
加速電壓 | 0.1 kV - 12 kV |
放大倍數 | 500X - 600,000X(SEM) 1X - 500X(光學) |
束斑電流 | 50pA-300nA |
圖像大小 | 512X512像素-24kX24k像素 |
圖像采集速度 | 雙通道同時采集2×100M 像素/秒 駐留時間(Dwell Time)10納秒/像素 |